Control no Lineal Robusto de una Máquina para Fabricación de Películas Delgadas

Héctor Huerta, René Osorio, Nimrod Vázquez

Resumen

En este artículo se presenta un esquema de control para una máquina utilizada para fabricación de películas delgadas, con un motor de corriente directa sin escobillas, basada en el método de centrifugación. Se incluye el modelo no lineal del motor sin escobillas, que corresponde a una máquina síncrona trifásica, con los flujos del rotor y las corrientes en el estator, como las dinámicas eléctricas, además de la velocidad en el rotor, como la dinámica mecánica. El objetivo de control es la regulación de la velocidad del rotor. Se utilizó la técnica de control por bloques y así obtener una variedad deslizante. Se eligió la técnica de control por modos deslizantes para garantizar que la variedad elegida sea atractiva y obtener robustez en lazo cerrado. Para completar el esquema de control se incluye un observador para estimar los estados no medibles, en este caso, los flujos del rotor. Se implementó el esquema de control propuesto en la máquina para fabricación de películas delgadas, además de un controlador basado en un PID con ganancias programadas, lo anterior para realizar la comparación de ambas técnicas. El esquema de control por modos deslizantes propuesto presenta ventajas sobre el controlador PID, ya que se obtiene la regulación de la velocidad del rotor, sin error en estado estacionario, considerando variaciones paramétricas.

Palabras clave

Modos deslizantes; Sistema no lineal; Motor sin escobillas; Controlador PID

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1. Spin-Coater Machine Control Via Passivity With Sliding Modes
Hector Huerta, Nimrod Vazquez
IEEE Access  vol: 8  primera página: 9760  año: 2020  
doi: 10.1109/ACCESS.2020.2965188



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